Б 51 Берри, Роберт. Тонкопленочная технология [Текст] : монография / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер. с англ.: В. И. Генкина, Е. И. Гиваргизова. - Москва : Энергия , 1972. - 336 с. : ил. ; 20 см. - Списки лит.: с. 329 - 335. - Пер. изд. : Thin film technology. - 9 000 экз.. - (в пер.) : 1.50 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- пленки тонкие -- получение -- производство Доп.точки доступа: Холл, Питер; Гаррис, Мюррей; Генкин, В. И. \пер. с англ.\; Гиваргизов, Евгений Инвиевич \пер. с англ.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |