Б 88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир , 1985. - 496 с. : рис., табл. ; 22 см. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 11 000 экз.. - (в пер.) : 2.60 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- мікроелектронні прилади -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- литографические методы -- літографічні методи -- пучки частиц -- пучки частин -- изготовление микросхем -- виготовлення мікросхем -- микроскопия -- мікроскопія -- микрозонды -- мікрозонди -- лазерное сканирование -- лазерне сканування -- легироание -- легування Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |