К 49 Климович, А. В. Применение метода инфракрасной спектроскопии для оценки структуры и состава пленок окислов кремния силикатных стекол и нитрида кремния [Текст] : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1974 гг.) / А. В. Климович, А. Д. Цырлин ; научный редактор Ю. М. Золотарев ; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975. - 36 с. : табл., рис. ; 20 см. - (Обзоры по электронной технике. Серия 7, Технология и организация производства ; вып.3 (293)). - Библиография: с. 33-36. - 1700 экз.. - 0.25 р. Рубрики: Электронная техника Кл.слова (ненормированные): ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- КРЕМНИЙ -- СИЛИКАТНОЕ СТЕКЛО Доп.точки доступа: Цырлин, А. Д.; Золотарев, Ю. М. \ред.\; Министерство электронной промышленности СССР ~Экземпляры всего: 1 КХР (1) Свободны: КХР (1) |