К 66 Корзо, Виктор Федорович. Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] : научное издание / В. Ф. Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. - Москва : Энергия, 1973. - 192 с. : ил. ; 21см. - 5000 экз.. - 0.54 р.
Кл.слова (ненормированные): НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ПИРОЛИТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПАССИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- АКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- ПЛЕНКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПОКРЫТИЯ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ИЗОЛЯЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ПАССИВАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ИСПАРЕНИЕ В ВАКУУМЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- АНОДИРОВАНИЕ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА Доп.точки доступа: Курочкин, Владимир Алексеевич; Демин, Виктор Петрович ~Экземпляры всего: 2 ТО (2) Свободны: ТО (2) |
К 66 Корзо, Виктор Федорович. Диэлектрические пленки в микроэлектронике [Текст] : материал технической информации / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия , 1977. - 368 с. : ил. ; 21.5см. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344 - 365. - 7000 экз.. - (в пер.) : 1.35 р.
Кл.слова (ненормированные): пленки тонкие -- микроэлектроника Доп.точки доступа: Черняев, Владимир Николаевич; Корзо, Виктор Фёдорович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |