Б 95 Быстров, Юрий Александрович. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] : материал технической информации / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 167 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 162 - 166. - 9 000 экз.. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- размеры -- технический контроль -- телевизионные методы контроля -- дифракционные методы контроля -- качество полупроводниковых пластин -- нанесение пленок -- оптическая спектрометрия Аннотация: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Колгин, Евгений Алексеевич; Котлецов, Борис Николаевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 73 Котлецов, Борис Николаевич. Микроизображения: оптические методы получения и контроля [Текст] / Б. Н. Котлецов. - Ленинград : Машиностроение. Ленинградское отделение, 1985. - 240 с : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 234-239 (142 назв.). - 2850 экз.. - (в пер.) : 1.20 р. Рубрики: Микроизображения--Формирование--Оптические методы. Фотошаблоны для интегральных схем. Микроизображения--Техничекий контроль--Оптические методы. Технический контроль--Микроизображения ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |