6П2.151
Л 64


    Литвинов, Ю. М.
    Методы наблюдения и контроля дефектов в полупроводниковых материалах и структурах [Текст] / Ю. М. Литвинов, Т. И. Ольховикова, Ф. Р. Хашимов. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976. - 33 с. : ил. ; 22см. - 1550 экз.. - 0.22 р.
УДК
Рубрики: Полупроводниковые материалы и изделия


Доп.точки доступа:
Ольховикова, Т.И.; Хашимов, Ф.Р.
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)