6П2.151.7
М 19


    Малин, Б. В.
    Техника изготовления фотошаблонов - трафаретов для производства кремниевых интегральных схем [Текст]. Выпуск № 4 (302) / Б. В. Малин. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972. - 159 с. : ил. ; 22.5см. - 1500 экз.. - 0.75 р.
УДК
Рубрики: Электронные приборы

~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)