6П2.151 М 74     Мокеев, Олег Константинович.     Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебное пособие для технических училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - Издание второе, переработанное и дополненное. - Москва : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил., табл. ; 21.8 см. - 8000 экз.. - (в пер.) : 0.60 р. УДК 6П2.151 Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Фотолитографический метод--Учебные издания для начального профессионального образования Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА Доп.точки доступа: Романов, Александр Сергеевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1)

6П2.151 М 74     Мокеев, Олег Константинович.     Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебное пособие для технических училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - Москва : Высшая школа, 1979. - 272 с. : рис., табл. ; 20.5 см. - 9000 экз.. - (в пер.) : 0.60 р. УДК 6П2.151 Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Фотолитографический метод--Учебные издания для начального профессионального образования Доп.точки доступа: Романов, Александр Сергеевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1)