32.844.1 М 80     Моро, у.     Микролитография [Текст] : пер. с англ. . В 2-х ч. Ч. 1 / у. Моро. - М. : Мир, 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-Х : 4 р. 50 к. р.ББК 32.844.1 Рубрики: Микрорадиоэлектронная аппаратура ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1)