Р 54 Риссел, Х. Ионная имплантация [Text] / Х. Риссел, И. Руге; перевод с немецкого: В. В. Климова, В. Н. Пальянова; под редактор М. И. Гусевой. - Москва : Наука, 1983. - 360 с : рис., табл. - Библиография: с. 345-359. - Пер. изд. : Ionenimplantation / H. Ryssel, I. Ruge. - 1978. - 2550 экз.. - (в пер.) : 4.50 р. Рубрики: Полупроводники--Легирование ионное Доп.точки доступа: Руге, И.; Гусева, М. И. \ред.\; Ryssel, H. ; Ruge, I. ~Экземпляры всего: 1 КХР (1) Свободны: КХР (1) |