Т 22 Таруи, Ясуо. Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] : научное издание / Я. Таруи ; пер. с яп. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - Москва : Радио и связь, 1985. - 479 с. : ил. ; 22 см. - Загл. обл. : Основы технологии СБИС. - Библиогр.: с. 454 - 474. - 10 000 экз.. - (в пер.) : 2.70 р. Содержание: Общие сведения Электронно-лучевая литография Методы переноса рисунка Методы контроля шаблонов Методы выращивания кристаллов Технологические процессы изготовления СБИС Основные методы оценок при испытаниях Основные методы конструирования устройств в интегральном исполнении
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие -- производство Доп.точки доступа: Лазарев, В. А. \пер. с яп.\; Ржанов, В. Г. \под ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |