Ч 56 Чехович, Евгений Казимирович. Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники [Текст] : научное издание / Е. К. Чехович ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : рис. ; 21см. - Библиогр.: с. 200-211 (267 назв.). - 1700 экз.. - ISBN 5-343-00087-8 : 1.70 р. Содержание: Особенности контроля топологии изделий микроэлектроники Методы преобразования информации о размерах элементов топологии при сканировании изображений изделий Преобразование информации о линейных размерах при сканировании изделий сфокусированным излучением Методы контроля с использованием интегральных оптических преобразований Преобразователи информации и исполнительные устройства средств автоконтроля микроструктур Методы электронной обработки информации
микроэлектроника Доп.точки доступа: Пилипович, В. А. \ред.\; Ин-т электроники АН БССР ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |