Э 19 Эдельман, Феликс Леонидович. Структура компонентов БИС [Текст] : монография / Ф. Л. Эдельман ; отв. ред. К. К. Свиташев ; Акад. наук СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1980. - 253 с. : ил. ; 24 см. - Библиография в конце глав. - 1850 экз.. - 3.90 р.
Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА -- КОМПОНЕНТЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ -- ПЛЕНКИ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ -- ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ -- ПЛЕНКИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- МИКРОСХЕМЫ Доп.точки доступа: Свиташев, К. К. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |