Т 38 Технология формирования наноразмерных плёнок (SIC)1-(AIN) [Текст] // Вестник Дагестанского Государственного Университета. Серия 1. Естественные науки. - 2022. - Т. 37. Вып.4. - С. 60-65 Кл.слова (ненормированные): КАРБИД КРЕМНИЯ, ТВЁРДЫЕ РАСТВОРЫ, НИТРИД АЛЮМИНИЯ, ПЛЁНКИ, МИШЕНЬ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЙ МЕТОД |