П 14 Палатник, Лев Самойлович. Материаловедение в микроэлектронике [Текст] : материал технической информации / Л. С. Палатник, В. К. Сорокин. - Москва : Энергия, 1978. - 279 с. : рис., табл. ; 21 см. - (Электронное материаловедение). - Библиография: с. 268-278. - 11000 экз.. - (в пер.) : 1.10 р.
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ Доп.точки доступа: Сорокин, Вадим Константинович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |