621.385.1
   М 31


    Маслов, Алексей Андреевич.
    Технология и конструкции полупроводниковых приборов [Текст] : производственно-практическое издание / А. А. Маслов. - Москва : Энергия, 1970. - 296 с. : ил. - 1.19 р.
ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ -- ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ -- НАДЕЖНОСТЬ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Свободных экз. нет