К 66 Корзо, Виктор Федорович. Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] : научное издание / В. Ф. Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. - Москва : Энергия, 1973. - 192 с. : ил. ; 21см. - 5000 экз.. - 0.54 р.
Кл.слова (ненормированные): НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ПИРОЛИТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПАССИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- АКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- ПЛЕНКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПОКРЫТИЯ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ИЗОЛЯЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ПАССИВАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ИСПАРЕНИЕ В ВАКУУМЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- АНОДИРОВАНИЕ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА Доп.точки доступа: Курочкин, Владимир Алексеевич; Демин, Виктор Петрович ~Экземпляры всего: 2 ТО (2) Свободны: ТО (2) |