В 15 Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 349 с. : рис., табл. ; 22 см. - Библиография: с. 338-347. - 3100 экз.. - (в пер.) : 2.80 р.
Кл.слова (ненормированные): СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ -- ЭЛЕКТРОНЫ -- ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Раков, Александр Васильевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |