К 66 Корзо, Виктор Федорович. Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] : научное издание / В. Ф. Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. - Москва : Энергия, 1973. - 192 с. : ил. ; 21см. - 5000 экз.. - 0.54 р.
Кл.слова (ненормированные): НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ПИРОЛИТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПАССИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- АКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- ПЛЕНКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПОКРЫТИЯ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ИЗОЛЯЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ПАССИВАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОПРИБОРОВ -- НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ИСПАРЕНИЕ В ВАКУУМЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- АНОДИРОВАНИЕ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА Доп.точки доступа: Курочкин, Владимир Алексеевич; Демин, Виктор Петрович ~Экземпляры всего: 2 ТО (2) Свободны: ТО (2) |
Б 88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир , 1985. - 496 с. : рис., табл. ; 22 см. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 11 000 экз.. - (в пер.) : 2.60 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- мікроелектронні прилади -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- литографические методы -- літографічні методи -- пучки частиц -- пучки частин -- изготовление микросхем -- виготовлення мікросхем -- микроскопия -- мікроскопія -- микрозонды -- мікрозонди -- лазерное сканирование -- лазерне сканування -- легироание -- легування Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Д 42 Джоветт, Чарльз Е.. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники [Текст] / Ч. Е. Джоветт ; пер. с англ. М. И. Кондакова ; под ред. Е. Б. Соколова. - Москва : Металлургия, 1980. - 110 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 106-111. - Пер. изд. : The engineering of microelectronic thin and thick films / C. E. Jowett. - 4100 экз.. - 1.20 р.
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ТОЛСТЫЕ ПЛЕНКИ -- МИКРОВОЛНОВЫЕ УСТРОЙСТВА Доп.точки доступа: Кондаков, М. И. \пер.\; Соколов, Е. Б. \ред.\; Jowett, C. E. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Ф 50 Физика тонких пленок [Текст] / под общей редакцией: Г. Хасс [и др.]. - Москва : Мир, 1967 - . - 22 см. Т. 8 : Современное состояние исследований и технические применения / перевод с английского под редакцией: А. Г. Ждан, В. Б. Сандомирский. - 1978. - 359 с. : ил. - 2.30 р. Рубрики: Агрегатные состояния--Физика--Естественные науки Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- применение в полупроводниковых приборах -- диэлектрические пленки -- керметные пленки Доп.точки доступа: Хасс, Г. \ред.\; Франкомб, М. \ред.\; Гофман, Р. \ред.\; Ждан, А. Г. \ред.\; Сандомирский, В. Б. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 КХР (1) Свободны: КХР (1) |