Б 69 Блинов, Игорь Григорьевич. Оборудование полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. ; 21 см. - (Для вузов). - 11000 экз.. - 1 р. Рубрики: Электронная промышленность--Оборудование--Учебники и пособия Полупроводниковые приборы-- Производство --Учебники и пособия Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГАЗОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
З-18 Закиров, Фаэт Газимович. Откачник- вакуумщик [Текст] : учебник для технических училищ / Ф. Г. Закиров, Е. А. Николаев. - Издание 2-е, переработанное и дополненное. - Москва : Высшая школа, 1977. - 252 с. : рис., табл. ; 19см. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). - Библиогр.: с. 248-250. - 10000 экз.. - (в пер.) : 0.45 р.
Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ Доп.точки доступа: Николаев, Евгений Алексеевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |