Б 88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - Москва : Мир , 1985. - 496 с. : рис., табл. ; 22 см. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 11 000 экз.. - (в пер.) : 2.60 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- мікроелектронні прилади -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- литографические методы -- літографічні методи -- пучки частиц -- пучки частин -- изготовление микросхем -- виготовлення мікросхем -- микроскопия -- мікроскопія -- микрозонды -- мікрозонди -- лазерное сканирование -- лазерне сканування -- легироание -- легування Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 56 Коваленко, Владимир Сергеевич. Применение лазеров в машиностроении [Текст] / В. С. Коваленко, В. П. Котляров, В. П. Дятел. - Киев : Головное издательство издательского объединения "Вища школа" , 1988. - 162 с. : рис., табл. ; 20см. - (Ученые Украины - народному хозяйству). - Лит.: с. 155-161. - 2000 экз.. - ISBN 5-11-001274-1 : 0.2 р. Рубрики: Машиностроительная промышленность Кл.слова (ненормированные): лазерная размерная обработка -- лазерна розмірна обробка -- погрешность продольной формы -- похибки повздовжньої форми -- погрешность поперечной формы -- похибки поперекової форми -- совершенствование лазерной обработки -- удосконалення лазерної обробки -- лазерное упрочнение -- лазерне зміцнення -- лазерное легирование -- лазерне легування -- маркировка лазерным лучом -- маркування лазерним променем -- маркировка гравированием -- маркування гравіюванням -- точение материалов -- точіння матеріалів -- лазерные приборы -- лазерні прибори Аннотация: Рассмотрены различные процессы лазерной обработки материалов, применение лазеров для оценки различных параметров и факторов технологического процесса. Доп.точки доступа: Котляров, Валерий Павлович; Дятел, Владимир Петрович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |