Ч 49 Черняев, Владимир Николаевич. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров [Текст] : учебник / В. Н. Черняев. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1987. - 464 с. : рис., табл ; 21см. - Библиогр. : с. 455 (26 назв.) Предм. указ. : с. 456-460. - 28000 экз.. - (в пер.) : 1.40 р.
Кл.слова (ненормированные): гибридные ИС -- микропроцессоры -- полупроводниковые ИС -- технологические процессы -- учебники -- учебные пособия Аннотация: Рассмотрены физико-технологические основы процессов изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств. Описаны перспективные технологические методы производства интегральных полупроводниковых и гибридных микросхем и микропроцессоров, а также используемое технологическое оборудование. По сравнению с первым изданием (1977 г.) материал значительно обновлен и методически переработан. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |