Г 55 Глудкин, Олег Павлович. Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС [Текст] : производственно-практическое издание / О. П. Глудкин, А. Е. Густов. - Москва : Радио и связь, 1981. - 112 с : рис. ; 19 см. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; вып.26). - Библиогр.: с. 105-108 (66 назв.). - 9000 экз.. - 0.30 р. Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- ис -- фотометрический контроль ис -- фотометрический метод Аннотация: Рассмотрены физические основы фотометрического метода контроля технологии производства интегральных схем (ИС), основные типы источников излучения и фотоприемников, применяемых в фотометрических схемах контроля. Приведены схемы измерения толщины и скор ости осаждения тонких пленок. Проанализирована точность фотометрического метода контроля. Приведены схемы измерения толщины и скорости осаждения тонких пленок. Проанализирована точность фотометрического метода контроля процессов производства ИС и даны рекомендации по ее повышению. Предназначена для инженеров, занимающихся производством ИС. Доп.точки доступа: Густов, Александр Евгеньевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |