Б 69 Блинов, Игорь Григорьевич. Оборудование полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. ; 21 см. - (Для вузов). - 11000 экз.. - 1 р. Рубрики: Электронная промышленность--Оборудование--Учебники и пособия Полупроводниковые приборы-- Производство --Учебники и пособия Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГАЗОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Л 17 Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование [Текст] : сборник научных трудов / ИПФ МолССР ; отв. ред. С. Л. Пышкин. - Кишинев : Штиинца, 1988. - 99 с. : ил. - ISBN 5-376-00487-2 : 1 р. Рубрики: Лазерные методы--Металлургия цветных металлов Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ -- ПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ЛАЗЕРНАЯ ПЛАЗМА -- ТОНКИЕ ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ -- ЛАЗЕРНАЯ ВАКУУМНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОПРОВОДИМОСТЬ Доп.точки доступа: Пышкин, С. Л. \отв. ред.\; АН МолССР. Институт прикладной физики ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
А 44 Акчурин, Рауф Хамзинович. Технология полупроводниковых материалов [Текст] : учеб. пособие / Р. Х. Акчурин ; МИХМ. - Москва : МИХМ, 1985. - 65 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 65 (8 назв.). - 300 экз.. - 0.12 р.
Кл.слова (ненормированные): НОРМАЛЬНАЯ НАПРАВЛЕННАЯ КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- ЗОННАЯ ПЛАВКА -- ЖИДКОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ВЫТЯГИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА Доп.точки доступа: Московский институт химического машиностроения ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
А 65 Андреев, Вячеслав Михайлович. Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов [Текст] : научное издание / В. М. Андреев, Л. М. Долгинов, Д. Н. Третьяков ; под ред. Ж. И. Алферова. - Москва : Советское радио, 1975. - 328 с. : черт. - Библиогр.: с. 289 - 322. - (в пер.) : 0.89 р.
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые соединения -- получение Доп.точки доступа: Долгинов, Лев Маркович; Третьяков, Дмитрий Николаевич; Алферов, Ж. И. \под ред.\; Алфёров Ж. И. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
К 93 Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - Москва : Высшая школа, 1965. - 247 с. : ил. ; 23см. - 12000 экз.. - (в пер.) : 0.65 р. Содержание: Особенности полупроводникового производства Механическая обработка полупроводниковых материалов Химическая и электрохимическая обработка полупроводников Фотолитография и фотошаблоны Эпитаксия Диффузия Ионная имплантация Конденсация в вакууме Методы защиты поверхности p-n-переходов Сборка и герметизация полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Технология изготовления структур на полупроводниковых соединениях Технология изготовления биполярных интегральных микросхем Технология МДП интегральных микросхем
Доп.точки доступа: Юдин, В. В. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
П 18 Парфенов, Олег Дмитриевич. Технология микросхем [Текст] : учеб. пособие для высш. учеб. заведений / О. Д. Парфенов. - Москва : Высшая школа, 1986. - 320 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. : с. 317. - Предм. указ. : с. 318-319. - 35 000 экз.. - (в пер.) : 1.10 р.
Кл.слова (ненормированные): гибридные пленочные микросхемы -- микросхемы -- полупроводниковые интегральные микросхемы -- пособия для вузов -- сборка микросхем -- толстопленочные микросхемы -- фотолитография -- электроника -- эпитаксия Аннотация: В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем, гибридных пленочных микросхем, сборка микросхем. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Г 46 Гиваргизов, Евгений Инвиевич. Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники [Текст] : научное издание / Е. И. Гиваргизов ; авт. предисл. Е. П. Велихов. - Москва : Наука , 1988. - 176 с. : ил. ; 20 см. - (Проблемы науки и технического прогресса). - Библиогр.: с. 158 - 176. - 3700 экз.. - ISBN 5-02-013845-2 : 1.90 р.
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- получение -- эпитаксия -- полупроводниковые материалы -- микроэлектроника Доп.точки доступа: Велихов, Е. П. \авт. предисл.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Г 74 Готра, Зенон Юрьевич. Справочник по технологии микроэлектронных устройств [Текст] / З. Ю. Готра. - Львов : Каменяр, 1986. - 286 с. : граф., схемы, табл. ; 20см. - Библиография: с. 284-285 (22). - 21000 экз.. - (в пер.) : 1 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПОДЛОЖКИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ЭПИТАКСИЯ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
И 20 Иванов-Есипович, Никита Константинович. Технология микросхем : учебник / Н. К. Иванов-Есипович. - Москва : Высшая школа, 1972. - 256 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 253-254 (51 назв.). - 26 000 экз.. - (В пер.) : 0.79 р., 0.79 р. Гриф: допущено Министерством высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учеб. для студентов вузов, обучающихся по спец. "Конструирование и производство радиоаппаратуры" Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМТЕРМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- НЕВАКУУМНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ИОННОПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ЭПИТАКСИЯ Аннотация: В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. ~Экземпляры всего: 2 АБ (1), ТО (1) Свободны: АБ (1), ТО (1) |