6П2.151
Г 74


    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технологические основы гибридных интегральных схем [Текст] : научное издание / З. Ю. Готра, Э. М. Мушкарден, Л. М. Смеркло ; под общ. ред. З. Ю. Готры. - Львов : Вища школа, Издательство при Львовском университете, 1977. - 165, [2] с. : рис., табл. ; 22 см. - Библиография в конце книги. - 6300 экз.. - (в пер.) : 0.88 р.
УДК
Рубрики: Интегральные схемы гибридные--Производство
Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ТОЛСТЫЕ ПЛЕНКИ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ГИС -- СБОРКА ГИС -- ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ


Доп.точки доступа:
Мушкарден, Эдуард Михайлович; Смеркло, Любомир Михайлович; Готра, Зенон Юрьевич \ред.\
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)