В15 Валиев, Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии [Текст] / К. А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 527, [1] с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - 1520 экз.. - ISBN 5-02-014381-2 (в пер.) : 7р.50к. р. Рубрики: Микролитография ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |