Б 90 Булкин, Анатолий Дмитриевич. Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов [Текст] : учебник для техникумов / А. Д. Булкин, Н. И. Якивчик. - Москва : Энергоатомиздат, 1984. - 254, [1] с. : рис., табл. ; 21 см. - (Для учащихся техникумов). - Предметный указатель: с. 250-252. - 6 700 экз.. - (в пер.) : 0.65 р.
Кл.слова (ненормированные): СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ОБРАБОТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Доп.точки доступа: Якивчик, Николай Иванович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |