Б 69 Блинов, Игорь Григорьевич. Оборудование полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. ; 21 см. - (Для вузов). - 11000 экз.. - 1 р. Рубрики: Электронная промышленность--Оборудование--Учебники и пособия Полупроводниковые приборы-- Производство --Учебники и пособия Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГАЗОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |