32.852
Б 43


    Белов, Игорь Александрович.
    Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. - Ленинград : Политехника, 1991. - 287, [1] с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.). - 2000 экз.. - ISBN 5-7325-0001-4 (в пер.) : 5 р.
Перед вып. дан. 3-й авт.: Шуб Леонид Исаакович
ББК 32.852
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Гидродинамические и исследования
   Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Гидродинамические и исследования



Доп.точки доступа:
Шеленшкевич, Владимир Александрович; Шуб, Леонид Исакович
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)

532
Б 43


    Белов, Игорь Александрович.
    Взаимодействие неравномерных потоков с преградами [Текст] / И. А. Белов. - Ленинград : Машиностроение, 1983. - 144 с. : ил. ; 21 см. - 1421 экз.. - 1.50 р.
РУБ 532
Рубрики: Гидромеханика--Жидкости--Физика
Кл.слова (ненормированные):
ФИЗИКА
Дескрипторы: ГИДРАВЛИЧЕСКАЯ ЭНЕРГИЯ

~Экземпляры всего: 1
КХР (1)
Свободны: КХР (1)