Б 95 Быстров, Юрий Александрович. Электронные приборы для отображения информации [Текст] / Ю. А. Быстров, И. О. Литвак, Г. М. Персианов. - Москва : Радио и связь, 1985. - 238, [1] с. : рис., табл. ; 21 см. - Библиография: с. 231-238. - 18 000 экз.. - (в пер.) : 1 р.
Доп.точки доступа: Литвак, Игорь Иосифович; Персианов, Георгий Михайлович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Б 95 Быстров, Юрий Александрович. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] : материал технической информации / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 167 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 162 - 166. - 9 000 экз.. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- размеры -- технический контроль -- телевизионные методы контроля -- дифракционные методы контроля -- качество полупроводниковых пластин -- нанесение пленок -- оптическая спектрометрия Аннотация: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем. Доп.точки доступа: Колгин, Евгений Алексеевич; Котлецов, Борис Николаевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Б 95 Быстров, Юрий Александрович Ускорители и рентгеновские приборы [Текст] : учебное пособие для вузов по специальности "Электронные приборы" / Ю. А. Быстров, С. А. Иванов. - Москва : Высшая школа, 1976. - 207 с. : ил. ; 21 см. - Библиография: с. 204-205. - 10 000 экз.. - 0.48 р., 0.48 р. Рубрики: Ускорители заряженных частиц Рентгеновские установки--Физика--Естественные науки--Россия Доп.точки доступа: Иванов, Станислав Алексеевич ~Экземпляры всего: 3 АБ (2), КХР (1) Свободны: АБ (2), КХР (1) |