В15 Валиев, Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии [Текст] / К. А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 527, [1] с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - 1520 экз.. - ISBN 5-02-014381-2 (в пер.) : 7р.50к. р. Рубрики: Микролитография ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
В 15 Валиев, Камиль Ахметович. Микроэлектроника: достижения и пути развития [Текст] : материал технической информации / К. А. Валиев. - Москва : Наука, Главная редакция физико-математической литературы, 1986. - 144 с. : рис., табл. ; 20 см. - (Проблемы науки и технического прогресса). - Библ.: с. 136-142 (100 назв.). - 6 000 экз.. - 0.95 р.
Кл.слова (ненормированные): законы масштабирования -- закони масштабування -- трехмерные интегральные микросхемы -- тривимірні інтегральні мікросхеми -- микроэлектронные приборы -- мікроелектронні пристрої -- сверхинтегральные устойства памяти -- надінтегральні обладнання пам'яті -- криомикроэлектроника -- кріомікроелектроніка -- молекулярная электроника -- молекулярна електроніка -- технологии микроэлектроники -- технології мікроелектроніки -- системы теневого экспонирования -- системи тіньового експонування Аннотация: Книга посвящена развитию технической базы систем переработки информации - микроэлектронным интегральным стемам и их технологии. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
В 15 Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 349 с. : рис., табл. ; 22 см. - Библиография: с. 338-347. - 3100 экз.. - (в пер.) : 2.80 р.
Кл.слова (ненормированные): СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ -- ЭЛЕКТРОНЫ -- ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Раков, Александр Васильевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |