Д 42 Джоветт, Чарльз Е.. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники [Текст] / Ч. Е. Джоветт ; пер. с англ. М. И. Кондакова ; под ред. Е. Б. Соколова. - Москва : Металлургия, 1980. - 110 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 106-111. - Пер. изд. : The engineering of microelectronic thin and thick films / C. E. Jowett. - 4100 экз.. - 1.20 р.
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ТОЛСТЫЕ ПЛЕНКИ -- МИКРОВОЛНОВЫЕ УСТРОЙСТВА Доп.точки доступа: Кондаков, М. И. \пер.\; Соколов, Е. Б. \ред.\; Jowett, C. E. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |