П 17 Папков, Владимир Сергеевич. Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе [Текст] : материал технической информации / В. С. Папков, М. Б. Цыбульников ; под ред. А. Ю. Малинина. - Москва : Энергия , 1979. - 89 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 85 - 88. - 2 900 экз.. - 0.25 р.
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- получение Доп.точки доступа: Цыбульников, Марк Борисович; Малинин, А. Ю. \под ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |