О-23 Обработка полупроводниковых материалов [Текст] : научное издание / В. И. Карбань, П. Кой, В. В. Рогов [и др.] ; под ред.: Н. В. Новикова, В. Бертольди ; Акад. наук УССР, Ин-т сверхтвердых материалов. - Киев : Наукова думка, 1982. - 254 с. : ил. ; 23см. - Библиогр.: с. 235 - 252. - 1850 экз.. - (в пер.) : 2.50 р. Содержание: Структура и свойства кристаллов полупроводниковых материалов Инструментальные абразивные материалы Деформация и разрушение полупроводниковых материалов при поверхностном локальном механическом воздействии Физические основы алмазно-абразивной обработки Обработка полупроводниковых материалов связанным абразивом Обработка полупроводниковых материалов свободным абразивом Предварительная и окончательная обработка полупроводниковых материалов Изготовление плоских бездефектных поверхностей на полупроводниковых кристаллах Способы контроля процесса обработки и обработанной поверхности
Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- обработка Доп.точки доступа: Карбань, Валерий Иванович; Кой, Пауль; Рогов, Валентин Васильевич; Новиков, Николай Васильевич \под ред.\; Бертольди, В. \под ред.\; Академия наук УCCР; Институт сверхтвердых материалов ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |
Р 59 Рогов, Валентин Васильевич. Финишная алмазно-абразивная обработка неметаллических деталей [Текст] / В. В. Рогов ; отв. ред. Н. В. Новиков ; ИСМ АН УССР. - Киев : Наук. думка, 1985. - 264 с. : ил. ; 20 см. - 1550 экз.. - (в пер.) : 2.60 р. Рубрики: Абразивная обработка Алмазная обработка Кл.слова (ненормированные): ФИНИШНАЯ ОБРАБОТКА -- АБРАЗИВНАЯ ОБРАБОТКА -- АЛМАЗНАЯ ОБРАБОТКА Доп.точки доступа: Новиков, Н. В. \отв. ред.\; АН УССР. Институт сверхтвердых материалов ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |